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威格斯VICOTE涂料应用大型喷涂涂布机

2008-01-18 00:00 来源：http://coatings.specialchem.com.cn 责编：中华印刷包装网

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英国消息，2008年01月16日，英国威格斯公司(Victrex plc)宣布，基于VICTREX®PEEK®聚合材料的VICOTE涂料已被光电、半导体设备制造商擎邦国际科技工程股份有限公司(King Polytechnic Engineering Co., Ltd)所采用，被应用于制造2", 8", 12", 甚至更大的晶圆以及LCD面板的中大型旋转喷涂/浸渍喷涂(SPIN/DIP)设备系列上。VICOTE 804 BLK凭借其优异耐化学腐蚀性、耐高温性与绝佳的附着力，成功地取代了原有的PTFE涂层。VICOTE涂料可减少涂布机在显影、蚀刻与去光阻制造过程中所产生的发尘量。这不但可延长设备使用寿命，减少设备维修，更可大幅提升晶圆与LCD面板的生产效率与成品率。

在半导体或LCD制造过程中，光刻(photolithography)是最关键也是最困难的步骤。光阻剂、蚀刻液与显影液需透过旋转喷涂/浸渍喷涂方式，才可以在晶圆与玻璃基板面板上完成制造(fabrication)。面对强酸碱化学物质与高温等极为严苛的制造环境，设备的稳定与均匀性直接影响晶圆与LCD面板的成品率。

擎邦无尘室事业部厂长黄可强表示：“从终端用户的角度出发，采用VICOTE涂料可减少设备维修与停工时间，进而提升晶圆与LCD面板的生产效率与成品率。之前所采用的PTFE在显影、蚀刻与去光阻制造过程中，经冷热循环、受强酸碱化学物质以及高温环境所影响，PTFE涂层容易掉落，从而导致频繁维修旋转喷涂设备。但自从采用VICOTE涂料后，至今都还没接到维修需求。目前用于制造8”以上晶圆与LCD面板的中大型旋转喷涂/浸渍喷涂涂布机系列都已采用VICOTE804 BLK涂料。”

威格斯台湾区经理李自立指出：“随着半导体工业向更大晶圆尺寸、更高密度、更严苛的化学以及高温加工生产环境发展，引进先进的材料和加工技术已成为产业发展的关键。VICOTE涂料兼具出色的耐磨性与极佳的基材附着力及耐化学腐蚀性，可大幅度减少颗粒产生量，并能承受大部分的化学物质侵蚀。制造设备的关键性零件通过采用VICOTE涂料，可延长设备的使用寿命与减少设备维修需求。通过不同的产品供应形式(粉末涂料与分散液涂料)，可为终端用户提供灵活且符合经济效益的应用模式。这次与擎邦的合作也进一步证明VICTREX PEEK是全球半导体产业最理想的材料选择。”

VICOTE涂料是基于VICTREX PEEK 聚合材料的新型涂料，分为粉末与分散液涂料两种，提供优异的抗刮伤、耐磨性、耐高温、高强度和耐久性�；繁５腣ICOTE涂料的研发成功填补了当今涂料技术领域在性能上的不足。无论是用于工业、汽车、食品加工、半导体、电子或者医药领域，VICOTE涂料都是工程师们的理想选择�？砂镏こ淌υ谟τ霉讨刑嵘返哪湍Σ列�，延长设备中涂装组件的使用寿命。VICOTE涂料可用静电或传统的分散液技术进行涂装。

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